ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S��
��Ҫ������ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S���Ǽ�SF6¶�c(di��n)�x�� SF6���ȃx�� SF6�ֽ�a(ch��n)��x��һ�w����ԭ��Ҫ�����_�x�����܌�(sh��)�F(xi��n)�Ĺ�����������һ�_�x����һ�άF(xi��n)���y��������������(xi��ng)ָ��(bi��o)�z�y�����(ji��)ʡ�O(sh��)���еĚ��w��һ�Μy����(ji��)ʡ2/3���w������ͬ�r(sh��)�p���Ñ��Ĺ�����������˹���Ч����
- �a(ch��n)Ʒ�r(ji��)��9879
- �S�����|(zh��)����(j��ng)�N��
- �������ڣ�2020-04-20
- �L �� ����724
ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S���Ǽ�SF6¶�c(di��n)�x�� SF6���ȃx�� SF6�ֽ�a(ch��n)��x��һ�w����ԭ��Ҫ�����_�x�����܌�(sh��)�F(xi��n)�Ĺ�����������һ�_�x����һ�άF(xi��n)���y��������������(xi��ng)ָ��(bi��o)�z�y�����(ji��)ʡ�O(sh��)���еĚ��w��һ�Μy����(ji��)ʡ2/3���w������ͬ�r(sh��)�p���Ñ��Ĺ�����������˹���Ч����
SF6���: l �y������:¶�c(di��n)-80~+20��(֧��ppmv��) l ¶�c(di��n)����:±2��(��(d��ng)¶�c(di��n)�ضȵ���0�棬������ݔ����˪�c(di��n)) l �� �� ��:¶�c(di��n)0.1���0.1ppm l �� ��(f��) ��:±0.5�� l ���w����:SF6�{(di��o)��(ji��)��0.5~0.9L/min l ̽�^���o(h��):���P䓟��Y(ji��)�^�V�W(w��ng) |
SF6����: l �y������: 90~100% SF6; l ���Ⱥ��؏�(f��)��: ±0.5%���c�����o�P(gu��n); l 푑�(y��ng)�r(sh��)�g: 90%�� 30s; l ������:��I�������� |
- ��һƪ��ZNPM-XSF6�ܶ��^���У�(y��n)�x*
- ��һƪ��AGV��(c��)���늌���֧��